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- / CHInano 2025|優(yōu)尼康即將參加蘇州納博會(huì),邀您探討精密檢測(cè)前沿應(yīng)用!

CHInano作為全國(guó)規(guī)模最大的納米技術(shù)領(lǐng)域展會(huì)集聚了一批精密檢測(cè)領(lǐng)域參展企業(yè),現(xiàn)場(chǎng)商業(yè)合作氛圍高漲。本屆精密檢測(cè)專區(qū)將繼續(xù)匯聚國(guó)內(nèi)外頂尖精密檢測(cè)平臺(tái)、專業(yè)裝備行業(yè)巨頭參展,誠(chéng)摯邀請(qǐng)您蒞臨,共同見(jiàn)證未來(lái)科技的誕生與發(fā)展!
優(yōu)尼康攜兩款重磅產(chǎn)品參加蘇州納博會(huì),其中KLA旗下的Filmetrics F50自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x自動(dòng)并快速獲得薄膜的厚度分布圖,而Film Sense多波長(zhǎng)橢偏儀對(duì)測(cè)量納米級(jí)薄膜有著超強(qiáng)實(shí)力。
B1館 533號(hào)優(yōu)尼康展臺(tái),現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置豐富的驚喜抽獎(jiǎng)活動(dòng),期待與各位在CHInano 2025現(xiàn)場(chǎng)見(jiàn)!

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展會(huì)時(shí)間:2025年10月22-24日
展會(huì)地點(diǎn):蘇州國(guó)際博覽中心
優(yōu)尼康展位: B1館 533號(hào)
(下方有圖示位置指引)

展館分布

展臺(tái)指引

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Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x | ||
F50可以非常簡(jiǎn)單地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜厚度分布圖。采用r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以快速定位所需的測(cè)試點(diǎn)并且實(shí)時(shí)獲得測(cè)試厚度,大約每秒測(cè)試兩點(diǎn)。 | ||
相關(guān)應(yīng)用:半導(dǎo)體制造(光刻膠、氧化物/氮化物/SOI、晶圓背面研磨);LCD 液晶顯示器(聚酰亞胺、ITO 透明導(dǎo)電膜);光學(xué)鍍膜(硬涂層、抗反射層);MEMS 微機(jī)電系統(tǒng)(光刻膠、硅系膜層)。 |
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FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀 | ||
Film Sense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀采用壽命長(zhǎng) LED 光源和非移動(dòng)式部件橢偏探測(cè)器,可在操作簡(jiǎn)單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)可靠地薄膜測(cè)量。 | ||
相關(guān)應(yīng)用:二氧化硅和氮化物,高介電和低介電材料,非晶和多晶材料,硅薄膜,光刻膠。高和低指數(shù)薄膜,如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2。TCO(如 ITO),非晶硅薄膜,有機(jī)薄膜(OLED 技術(shù))等。 |
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